Как делают чип: литография в двух абзацах

Задание 1 из 5 · Понимание

Какую роль выполняет фоторезист при литографии? После экспонирования сам становится постоянным металлическим соединением. Равномерно легирует кремний до переноса рисунка маски. После экспонирования и проявления образует рисунок, который защищает выбранные участки.